Mikrosystemtechnik Für Ingenieure

Mikrosystemtechnik Für Ingenieure

Autor : Wolfgang Menz
Geschlecht : Bücher, Naturwissenschaften & Technik, Ingenieurwissenschaft & Technik,
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Dateigröße : 14.26 MB
Format : PDF, ePub

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Mikrosystemtechnik Für Ingenieure

Dieses Buch gibt eine umfassende Einfuhrung in die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Im Mittelpunkt steht der Systemgedanke, d.h. die Kombination von Mikroelektronik und Mikromechanik zu integrierten Mikrosystemen, die zunehmend fur Steuer- und Regelaufgaben in der Umwelt-, Verkehrs-, Verfahrens-, Haus- und Fertigungstechnik sowie der Medizin eingesetzt werden. Mehr als 200 Abbildungen und Tabellen illustrieren den klar strukturierten Text. Nach einer kurzen allgemeinen Einfuhrung entwickeln die Autoren systematisch das theoretische und methodische Rustzeug fur eine erfolgreiche Arbeit auf diesem zukunftstrachtigen Gebiet. Parallelen zur Mikroelektronik werden gezeigt, eine detaillierte Beschreibung der benotigten Grundlagen, der verwendeten Materialien und eingesetzten Techniken schliet sich an. Breiten Raum geben die Autoren den wichtigen Verfahren wie Dunnschichttechnik, Lithographie, Mikromechanik, LIGA-Verfahren und dem Gebiet der Aufbau- und Verbindungstechniken, bevor zum Abschlu die Grundzuge des Systemgedankens beschrieben werden.Dieses Lehrbuch wendet sich an Studenten der Ingenieurwissenschaften, besonders der Fachrichtungen Mikrosystemtechnik, Sensorik, Elektrotechnik, Maschinenbau, Me- und Regelungstechnik sowie an angehende Physiker.

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Geschlecht : Bücher, Literatur & Fiktion, Unterhaltungsliteratur,
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Geschlecht : Bücher, Schule & Lernen, Allgemeinbildung,
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Dateigröße : 9.50 MB